沈天慧
[中国科学院院士]
沈天慧介绍:
沈天慧,半导体化学家 1923年4月27日生于浙江
嘉善,籍贯浙江
杭州。1949年毕业于
上海大同大学化工系。1957年至1959年赴苏联进修。
上海交通大学教授。1980年当选为中国科学院学部委员(院士)。
参加了
包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS工艺,研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,已制出直径为2mm的微马达。
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